EUV 관련주 TOP 10 | 삼성-ASML 맞손, EUV 수혜주와 대장주

liar fortune teller 2023. 12. 14.

삼성전자-ASML 1조 원 합작 R&D 센터 출범, EUV 수혜주

삼성전자와 SK하이닉스가 세계 1위의 반도체 제조용 광학 노광 공정 장치를 만드는 네덜란드 ASML과 협력을 강화하기로 하였다. EUV 기반 초미세 제조 공정을 공동개발한다는 소식이 전해지면 주식 투자자들은 당연히 EUV 관련주에 대해 정리할 필요학 있다.

한편, 2023년 11월 15일에 ASML은 2,400억 원 규모의 화성 반도체 클러스터 착공한 바 있다. 이 부지에는 첨단 노광 장비 재제조시설과 트레이닝센터가 들어선다. 또한, 국산 부품 비중을 기존 10%에서 50%로 5개 늘릴 계획이다.

그럼 EUV 관련주에 대해 정리해 보자. EUV 관련주는 에프에스티, 에스앤에스텍, 아이엠티, 파크시스템스, 디바이스이엔지, 동진쎄미켐, 켐트로닉스, 켐트로스, 풍국주정, 퓨릿, 한국알콜 등이 있다.

EUV란?

EUV란 Extreme Ultra Violet의 약자로 극자외선이라 한다. 반도체 산업에서 EUV는 반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithogragphy) 기술 또는 이를 활용한 제조공정을 말한다.

즉, 반도체 공정 중에 노광공정에 들어가는 기술이다. 노광공정이란 웨이퍼 위에 빛으로 회로를 새기는 공정이다. 웨이퍼에 빛으로 새겨지는 회로가 미세할수록 웨이퍼에 들어갈 수 있는 반도체 칩 수가 많아져 반도체 성능이 좋아진다. 이 때문에 반도체 회사들이 나노 경쟁을 펼치며 더 미세한 반도체를 만들려고 하고 있다.

기존 노광공정에 활용되는 빛의 파장은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 액침불화아르곤(Immersion ArF) 등이 있다. 20 나노급 이상에서 사용된 빛의 파장은 ArF인데, 하지만 더욱 미세한 10 나노급 반도체 생산에는 한계를 보이기 시작했다.

이에 EUV를 활용한 노광장비가 대안으로 대두되었다. EUV 노광장비는 EUV 광원을 활용한 13.5nm 빛 파장으로 EUV를 활용하면 기존 193nm의 ArF 보다 웨이퍼에 14배 정도 얇은 회로를 그릴 수 있다. 7nm 이하 반도체를 생산하기 위해선 EUV 노광장비가 필수적인 상황이다.

현재 이 기술을 가지고 있는 반도체 장비업체는 ASML이 유일한데, 그 이유는 노광장비에 있어 EUV를 사용하는 것은 그만큼 다루기 힘든 기술이기 때문이다. 그래서 ASML이 반도체 업계에서는 '슈퍼 을'로 불리고 있다. 삼성전자, TSMC, 인텔, 마이크론 등 글로벌 반도체 회사들이 ASML의 EUV 노광장비를 서로 먼저 도입하려고 하기 때문이다.

EUV 관련주 TOP 11

1. 에프에스티 (036810) : EUV 관련 대장주

✍ EUV 관련주 편입 사유

에프에스티는 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 온도조정장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체이다.

펠리클은 마스크를 보호하는 얇은 투명한 막을 말한다. 펠리클은 반도체 불량률을 낮춰주며 마스크 세척을 자주 해주지 않아도 되기 때문에 세척 비용과 세척 시간이 감소한다. 또한 마스크 수명이 늘어난다.

에프에스티는 EUV용 펠리클을 국산화에 성공하였으며, 2023년 7월 첫 수주를 한 바 있다. 고객사는 영업비밀로 공개되지 않았다. 기존 EUV용 펠리클은 대부분 일본에서 수출하고 있었다.

다만, 2023년 12월 1일 삼성전자는 EUV 펠리클 공급사가 일본의 미쓰이 단 한 군데라고 공개한 바 있다. 아직 국내 기업들에서 개발한 EUV 펠리클이 투과율이 낮거나 양산에 투입되지 않았다는 뜻으로 풀이된다.

✍ 관련기사

https://www.etnews.com/20230717000192

https://news.zum.com/articles/87344700

2. 에스앤에스텍 (101490) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

에스앤에스텍은 반도체 및 TFT LCD 생산에 쓰이는 노광 공정의 핵심 재료인 포토마스크의 원재료로써 패턴이 노광 되기 전 마스크인 블랭크 마스크 제조 및 판매를 영위하고 있다.

또한, 에스앤에스텍은 투과율 91%의 EUV 펠리클 개발을 완료한 바 있다.

✍ 관련기사

https://www.etnews.com/20230320000066

https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=24702

3. 아이엠티 (451220) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

아이엠티는 세계최초로 레이저와 이산화탄소(CO2)를 활용한 건식세정 장비를 개발한 바 있으며, 국내 유일의 EUV 마스크용 레이저 베이킹 장비 사업을 영위하고 있다.

아이엠티는 2016년 삼성전자와 EUV 마스크를 공동개발한 바 있으며, 2009년에는 ASML과 차세대 노광장비인 'EUV 노광장비' 상용화를 위한 연구공동개발 협력계약을 체결한 바 있다. 따라서 EUV 관련주로 분류된다.

4. 파크시스템스 (140860) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

파크시스템스는 나노계측장비(원자현미경) 전문 기업이다.

파크시스템스는 원자현미경(AFM) 기반 EUV 마스크 리페어 장비인 'NX-MASK'를 상용화한 바 있다. 현재 일부 기업에서 파크시스템스의 장비를 사용 중에 있다. 마스크 리페어는 포토마스트의 결함을 제거하는 기술이다.

파크시스템스의 마스크 리페어는 건식 방식으로 관계자에 따르면 습식 방식의 마스크 리페어는 30nm 이하 패턴에서 사용하기 어렵다는 단점이 있다.

한편, EUV 포토마스크는 장당 1억 5,000만 원 수준으로 알려져 있어 파크시스템스의 마스크 리페어 장비가 많이 필요로 할 것으로 기대하고 있다.

5. 디바이스이엔지 (187870) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

디바이스이엔지는 세정공정의 핵심기술인 오염제어기술을 기반으로 메모리와 비메모리 반도체 제조공정과 Rigid와 Flexible OLED 디스플레이에 사용되는 오염제거장비를 공급하고 있다.

다바이스이엔지는 삼성전자 화성캠퍼스 EUV 전용라인에 세정장비를 공급하고 있어 EUV 관련주로 분류된다.

6. 동진쎄미켐 (005290) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

동진쎄미켐은 반도체 및 디스플레이용 감광액, 반사방지막, SOC, 연마제, Wet Chomical, Colored Resist 등의 재료를 제조 및 판매하고 있다.

동진쎄미켐은 EUV용 포토레지스트(PR) 국내 최초로 상용화한 기업이다. 동진쎄미켐이 최초 개발한 포토레지스트는 EUV 포지티브 포토레지스트이다.

또한, 2023년 7월에는 EUV 네거티브 포토레지스트 개발에 성공하여 본격 양산에 착수한 바 있다.

EUV노광 공정에서는 포지티브 PR과 네거티브 PR이 함께 사용된다. 포지티브 PR은 하이-레졸루션 특성을 가지고 있어 미세 회로 패턴 생성에 적합하다. 네거티브 PR은 식각 저항성이 우수하다는 특징이 있다.

7. 켐트로닉스 (089010) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

켐트로닉스는 전자사업, 화학사업, 태양광사업을 영위하고 있다.

켐트로닉스는 '초고순도 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세트산(PGMEA)'를 연간 1만 톤 수준의 생산능력을 갖추고 있으며, 2025년까지 2만 5천 톤 수준으로 확대할 계획이다.

PGMEA는 반도체 EUV 노광공정에 활용되는 포토레지스트(PR)의 70~80%를 차지하는 핵심 원료이다. 켐트로닉스가 개발한 PGMEA는 99.999%(5N)의 초고순도를 자랑한다.

✍ 관련기사

https://www.etnews.com/20231107000273

8. 켐트로스 (220260) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

켐트로스의 주력 제품들은 정밀화학 산업 각 분야에서 필요로 하는 주요 케미칼 소재들로 구성되어 있다.

켐트로스는 2023년 8월 21일 '포토레지스트용 PDI 1.2 이하 급 PHS 소재 기술 개발에 대한 개발 주관사로 선정된 바 있다. 또한, 2023년 9월 21일에는 한국산업기술평가관리원과 '반도체 포토레지스트용 핵심 고분자 국산화 프로젝트'에 대해 협약을 체결한 바 있다.

PHS(Poly-hydroxystyrene) 고분자는 반도체 포토레지스트의 해상도를 좌우하는 핵심 재료지만 국내에서는 수입 의존도가 100%에 가까운 상황이다. 원재료인 스티렌계 모노머는 중국 및 일본에서 100%, PHS 고분자는 일본에서 전량 수입 중에 있다.

9. 풍국주정 (023900) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

풍국주정은 소주의 원료로 사용되는 주정과 산업용 가스, 수소 및 아세틸렌을 제조하는 회사이다.

풍국주정은 노광공정에 핵심 필수 소재로 분류되는 탄산가스 사업을 영위하고 있어 EUV 관련주로 분류되고 있다.

기존 ArF나 KrF 공정에서 포토 장비에 사용되는 광원을 만들기 위해선 네온가스가 활용됐다. 하지만 EUV 공정에서 광원을 만들기 위해 필요한 핵심 소재는 탄산가스다.

10. 퓨릿 (445180) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

퓨릿은 초고순도 반도체용 케미컬 PGME, PGMEA, EEP, EL 등과 디스플레이용 케미컬 LCD용 EL 등을 생산하는 기업이다.

PGMEA(프로필렌 글리콜 메틸에테르 아세트산)는 반도체용 시너(thinner)로 제조돼 EUV 노광 공정에서 극자외선 감광 반응이 일어나지 않은 부분에 묻은 감광물질(포토레지스트)을 씻어내는 역할을 한다. 또한, 노광공정에 들어가기 전 웨이퍼에 바르면 감광물질을 더 적게 써도 고르게 펴지도록 돕는다.

EEP(에틸 3 에폭시 프로피오네이트, Ethyl 3-Ethoxypropionate)는 반도체 포토레지스트 세정액으로 역시 퓨릿에서 생산하고 있다.

11. 한국알콜 (017890) : EUV 관련주

✍ EUV 관련주 편입 사유

한국알콜은 합성주정, 무수주정, 정제주정 등 주정제품과 초산에틸, 초산부틸 등 석유화학제품 외 컬러페이스트, 전자급 정밀화학소재를 제조 및 판매하고 있다.

한국알콜은 앞서 소개한 퓨릿의 지주회사이다. 퓨릿의 지분 50.07% (2023.12.13 기준) 보유하고 있어 EUV 수혜주로 분류되고 있다.

결론

EUV 관련주는 에프에스티, 에스앤에스텍, 아이엠티, 파크시스템스, 디바이스이엔지, 동진쎄미켐, 켐트로닉스, 켐트로스, 풍국주정, 퓨릿, 한국알콜 등이 있다.

2024년 반도체 업턴 사이클이 돌아올 것이라는 기대가 큰 만큼 국내 주식시장에서 반도체 관련 종목에 대해 미리 정리해 두도록 하자.

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